Disclosed is a method for manufacturing a field emission X-ray source device which improves a production yield and improves reliability such as performance stability and a service life by eliminating a factor for vacuum level degradation in a finished product. According to the present invention, the method for manufacturing a field emission X-ray source device comprising an anode electrode having an X-ray target surface, a cathode electrode having an electron emission source, a gate electrode, and an insulation spacer arranged between the electrodes, comprises: a process of assembling the electrodes except the cathode electrode and the insulation spacer a process of performing metal aging on the electrodes including the anode electrode and the gate electrode and excluding the cathode electrode and a process of joining the cathode electrode to a portion where the electrodes except for the cathode electrode and the insulation spacer are assembled in a vacuum atmosphere.COPYRIGHT KIPO 2017생산 수율을 향상시키고, 완성품의 내부 진공도 저하 요인을 없애 성능의 안정성과 수명 등 신뢰성을 향상시키는, 전계 방출 엑스선 소스 장치의 제조 방법이 개시된다. 본 발명에 따른 전계 방출 엑스선 소스 장치의 제조 방법은, 엑스선 타겟면을 갖는 애노드 전극, 전자 방출원을 갖는 캐소드 전극, 게이트 전극 및 상기 전극들의 사이에 배치되는 절연 스페이서를 포함하는 전계 방출 엑스선 소스 장치를 제조하는 방법에 있어서, 상기 캐소드 전극 이외의 전극들 및 절연 스페이서를 조립하고, 상기 애노드 전극 및 상기 게이트 전극을 포함하는 상기 캐소드 전극 이외의 전극들에 대하여 메탈 에이징을 실시하고, 상기 캐소드 전극 이외의 전극들 및 상기 절연 스페이서가 조립된 부분에 상기 캐소드 전극을 진공 분위기에서 접합하는 과정을 포함한다.
