지르코늄 혹은 하프늄 합금 재질의 부품의 적어도 일부를 표면 가공하는 방법으로서, 합금 표면층을 나노구조화 하여 합금의 두께를 적어도 5㎛가 되게 하는 적어도 하나의 공정을 포함하고 이때 합금의 입자크기는 100nm 이하이며, 상기 나노구조화는 부품 제작시 사전에 거친 마지막 열처리 공정의 온도와 같거나 이보다 낮은 온도에서 행하는 것으로 된 표면 가공법에 대해 기술한다. 상기 방식으로 가공된 지르코늄 혹은 하프늄 합금 재질의 부품에 대해서도 기술한다.