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圧電素子、圧電アクチュエーター、超音波探触子、超音波装置、電子機器、液体噴射ヘッド、及び液体噴射装置
专利权人:
SEIKO EPSON CORP
发明人:
OHASHI KOJI,大橋 幸司
申请号:
JP2017006213
公开号:
JP2018117022A
申请日:
2017.01.17
申请国别(地区):
JP
年份:
2018
代理人:
摘要:
PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a piezoelectric element capable of suppressing performance deterioration due to a crack of a piezoelectric film, and a piezoelectric actuator, an ultrasonic probe, an ultrasonic device, an electronic apparatus, a liquid injection head and a liquid injection device.SOLUTION: A piezoelectric element in which a first electrode layer, a piezoelectric layer and a second electrode layer are sequentially laminated, comprises a conductive layer positioned across from the first electrode layer to the piezoelectric layer. In a plan view from a lamination direction of the first electrode layer, the piezoelectric layer and the second electrode layer, the piezoelectric layer has a first portion overlapping with the second electrode layer, a second portion overlapping with the conductive layer, and a third portion not overlapping with the second electrode layer and the conductive layer. A film thickness of at least a part of the third portion is smaller than a film thickness of the first portion.SELECTED DRAWING: Figure 6【課題】圧電膜のクラックによる性能低下を抑制可能な圧電素子、圧電アクチュエーター、超音波探触子、超音波装置、電子機器、液体噴射ヘッド、及び液体噴射装置を提供する。【解決手段】第1電極層、圧電体層、及び第2電極層が順に積層された圧電素子であって、第1電極層から圧電体層に亘って位置する導電層を備え、圧電体層は、第1電極層、圧電体層、及び第2電極層の積層方向から見た平面視において、第2電極層と重なる第1部分と、導電層と重なる第2部分と、第2電極層及び導電層と重ならない第3部分とを有し、第3部分の少なくとも一部の膜厚は、第1部分の膜厚よりも小さい。【選択図】図6
来源网站:
中国工程科技知识中心
来源网址:
http://www.ckcest.cn/home/

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