Method for cleaning a process chamber by using an electropolishing

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专利权人:

PURE SURFACE TECHNOLOGY CO., LTD.

发明人:

JI, JUNG HOON,HAN, TAE HEE

申请号：

KR20170024340

公开号：

KR20180016244(A)

申请日:

2017.02.23

申请国别(地区):

韩国

年份:

2018

代理人:

摘要：

본 발명은 공정챔버의 내벽을 전해연마법으로 세정하여 공정챔버 내에 침착된 반응 부산물을 제거할 뿐만 아니라 상기 공정챔버 내벽의 균일한 비표면적을 제공할 수 있는 공정챔버의 세정 방법에 관한 것이다. 본 발명에 따르면, 대용량 공정챔버를 분해, 이동 및 재조립 없이 그 자체로 전해연마함으로써, 분진발생이나 환경오염을 야기함이 없이, 공정챔버의 내벽에서 공정부산물 및 공정침착물을 제거할 수 있으며, 공정챔버의 내벽에 균일한 비표면적을 제공할 수 있다.

来源网站：

中国工程科技知识中心

来源网址：

http://www.ckcest.cn/home/