圧電薄膜共振器、フィルタおよびマルチプレクサ。
- 专利权人:
- 太陽誘電株式会社
- 发明人:
- 矢神 義之,岡村 龍一,高岡 良知
- 申请号：
- JP20160170315
- 公开号：
- JP2018037906(A)
- 申请日:
- 2016.08.31
- 申请国别(地区):
- 日本
- 年份:
- 2018
- 代理人:
- 摘要：
- 【課題】適切な配線層の形状を提供すること。【解決手段】基板と、前記基板上に設けられた圧電膜と、前記圧電膜の少なくとも一部を挟んで対向した下部電極および上部電極と、前記上部電極上に０．８μｍ以上かつ３．０μｍ以下の厚さＴ１で設けられ、前記圧電膜を挟み前記下部電極と前記上部電極とが対向する共振領域と平面視において少なくとも一部が重なり、前記共振領域の輪郭と、前記共振領域内に位置し前記輪郭から最も離れた下面の端部と、の距離Ｌ１は０μｍより大きくかつ２μｍより小さい配線層と、を具備する圧電薄膜共振器。【選択図】図８
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