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圧電薄膜共振器、フィルタ、デュプレクサ、及び圧電薄膜共振器の製造方法
- 专利权人:
- 太陽誘電株式会社
- 发明人:
- 横山 剛,西原 時弘
- 申请号：
- JP20160143660
- 公开号：
- JP2018014643(A)
- 申请日:
- 2016.07.21
- 申请国别(地区):
- 日本
- 年份:
- 2018
- 代理人:
- 摘要：
- 【課題】電気機械結合係数の向上とＱ値の低下の抑制とを両立させること。【解決手段】基板１０と、基板１０上に設けられ、第２族元素又は第１２族元素と、第４族元素又は第５族元素と、を含有し、厚さ方向の中央側の第１領域１４ａでは前記第４族元素又は前記第５族元素の濃度が前記第２族元素又は前記第１２族元素の濃度よりも高く、前記厚さ方向の端側の第２領域１４ｂでは前記第２族元素又は前記第１２族元素の濃度が前記第４族元素又は前記第５族元素の濃度よりも高い窒化アルミニウム膜を含む圧電膜１４と、圧電膜１４を挟んで対向した下部電極１２及び上部電極１６と、を備える圧電薄膜共振器。【選択図】図３
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
- 来源网址：
- http://www.ckcest.cn/home/
