您的位置：
首页
>
农业专利
>
详情页
圧電薄膜共振器、フィルタ、及び分波器
- 专利权人:
- 太陽誘電株式会社
- 发明人:
- 横山 剛
- 申请号：
- JP20150150045
- 公开号：
- JP2017034358(A)
- 申请日:
- 2015.07.29
- 申请国别(地区):
- 日本
- 年份:
- 2017
- 代理人:
- 摘要：
- 【課題】Ｑ値及び電気機械結合係数の劣化を抑制しつつ、スプリアスを抑制すること。【解決手段】基板１０と、前記基板上に設けられ、ポアソン比が０．３３以下の圧電膜１４と、前記圧電膜を挟んで対向した下部電極１２及び上部電極１６と、前記圧電膜を挟み前記下部電極と前記上部電極とが対向する共振領域２０内の外周領域２０ｂの前記圧電膜内若しくは前記圧電膜の下面又は上面に設けられ、前記共振領域の中央領域２０ａには設けられていない挿入膜１８と、を備え、前記共振領域内の外周領域の前記下部電極、前記圧電膜、及び前記上部電極の少なくとも１つは、前記共振領域の中央領域の前記下部電極、前記圧電膜、及び前記上部電極の前記少なくとも１つに比べて薄い圧電薄膜共振器。【選択図】図５
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
- 来源网址：
- http://www.ckcest.cn/home/
