PROBLEM TO BE SOLVED: To improve a sterilization process using a gaseous biocide under a vacuum.SOLUTION: This method for performing the measurement/supply of hydrogen peroxide gas into an exhausted sterilization chamber includes stages of: continuously monitoring a pressure inside the sterilization chamber； connecting a passage having a known volume to the exhausted sterilization chamber so as to exhaust a passage； sealing the passage； connecting the exhausted passage to a supply source of a hydrogen peroxide solution by a sufficient time so as to suck the hydrogen peroxide solution into the passage and to fill the hydrogen peroxide solution in the passage； sealing the passage； and repeating the stages until preselected pressure increase inside the sterilization chamber is detected. The pressure increase is 2,527 Pa. Preferably, the known volume is 75-15 &mu；L so as to suppress undesirable condensed water of hydrogen peroxide inside the sterilization chamber. An economical and low-cost pressure sensor for controlling a hydrogen peroxide concentration can be substituted for a costly hydrogen peroxide concentration measurement system.【課題】真空下でガス状の殺生物剤を使用する滅菌プロセスを改良する。【解決手段】排気された滅菌チャンバの中に過酸化水素ガスを計量供給する方法は、滅菌チャンバ内の圧力を連続的に監視する段階と、通路を排気するために、排気された滅菌チャンバに既知の体積の通路を連結する段階と、通路を封止する段階と、過酸化水素溶液を通路の中に吸い込みかつ通路を過酸化水素溶液で満たすために十分な時間だけ過酸化水素溶液の供給源に排気された通路を連結する段階と、通路を封止する段階と、滅菌チャンバ内の予め選択された圧力増大が検出されるまで前記段階を繰り返す段階を含む。圧力増大は２５２７Ｐａである。滅菌チャンバ内の過酸化水素の望ましくない凝縮水を抑制するために、既知の体積は、好ましくは、７５μＬから１５μＬの間である。高価な過酸化水素濃度測定システムが、過酸化水素濃度の制御のための経済的で低コストの圧力センサに代えられる。【選択図】図１
