制造氧化物超导薄膜的方法
- 专利权人:
- 住友电气工业株式会社;公益财团法人国际超电导产业技术研究中心
- 发明人:
- 本田元气,种子田贤宏,加藤武志
- 申请号：
- CN200980132616.1
- 公开号：
- CN102132359B
- 申请日:
- 2009.02.18
- 申请国别(地区):
- 中国
- 年份:
- 2013
- 代理人:
- 陈海涛`樊卫民
- 摘要：
- 本发明公开了一种制造氧化物超导薄膜的方法，所述氧化物超导薄膜用于超导线材的制造。在所述方法中，利用无氟的金属有机化合物作为原料，通过涂布热解法制造所述氧化物超导薄膜。在用于结晶热处理的烧结热处理(S20)之前，进行中间热处理(S10)，所述中间热处理(S10)对经受所述烧结热处理(S20)前的薄膜中所含的碳酸盐进行分解。所述中间热处理(S10)可以在二氧化碳浓度为10ppm以下的气氛中进行。所述金属有机化合物可以是包括β-二酮络合物的金属有机化合物。
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
