检测二氧化碳的氯氧化镧薄膜敏感元件的制造方法
- 专利权人:
- 上海大学
- 发明人:
- 焦正,吴明红,顾建忠,施文彦,王艳丽
- 申请号：
- CN200310109271.2
- 公开号：
- CN1547005A
- 申请日:
- 2003.12.11
- 申请国别(地区):
- 中国
- 年份:
- 2004
- 代理人:
- 顾勇华
- 摘要：
- 本发明涉及一种检测二氧化碳的氯氧化镧薄膜敏感元件的制造方法，属于半导体传感器及敏感元件制造工艺技术领域。本发明方法主要采用溶胶—凝胶工艺，其特征在于，首先将氯化镧溶解于乙醇中形成溶液，然后加入丙烯酰胺作为分散剂，加热回流，然后在水浴中老化，得到溶胶；将事先做好金电极和氧化钌电阻加热层的氧化铝衬底浸入上述溶胶中，取出烘干；再经过热处理，即可得到氯氧化镧薄膜二氧化碳敏感元件。本发明方法制备的氯氧化镧薄膜检测二氧化碳敏感元件具有高灵敏度。本发明方法工艺简便，价格低廉，可用于检测空气质量、食品安全与火灾预警等领域。
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
