RARE-EARTH OXIDE BASED CHAMBER MATERIAL
- 专利权人:
- Applied Materials, Inc.
- 发明人:
- Sun Jennifer Y.,Kanungo Biraja P.
- 申请号：
- US201715796495
- 公开号：
- US2018044247(A1)
- 申请日:
- 2017.10.27
- 申请国别(地区):
- 美国
- 年份:
- 2018
- 代理人:
- 摘要：
- An article comprises a plasma resistant ceramic material comprising 80-90 mol % of Y2O3, over 0 mol % to 20 mol % of ZrO2, and 10-20 mol % of Al2O3.
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
