多層膜反射鏡、分光装置、および高次高調波の分光方法
- 专利权人:
- エヌ・ティ・ティ・アドバンステクノロジ株式会社
- 发明人:
- 市丸 智,畑山 雅俊,高橋 栄治
- 申请号:
- JP20150526431
- 公开号:
- JPWO2015140924(A1)
- 申请日:
- 2014.03.18
- 申请国别(地区):
- 日本
- 年份:
- 2017
- 代理人:
- 摘要:
- 本発明に係る多層膜反射鏡(2A、2B、2)は、第1材料から成る軽元素層(21)と、前記第1材料よりも屈折率の大きい第2材料から成る重元素層(22)とが交互に複数積層され、入射される光のうち一部の波長範囲を選択的に反射する多層膜反射鏡である。前記多層膜反射鏡は、前記波長範囲内において夫々入射角での反射帯域幅(W)が、夫々略等しいことを特徴とする。
- 来源网站:
- 中国工程科技知识中心