您的位置: 首页 > 农业专利 > 详情页

PIEZOELECTRIC DEVICE, PIEZOELECTRIC MODULE AND ELECTRONIC APPARATUS
专利权人:
SEIKO EPSON CORP;セイコーエプソン株式会社
发明人:
KIYOSE SETSUNAI,清瀬 摂内
申请号:
JP2015234291
公开号:
JP2017099566A
申请日:
2015.11.30
申请国别(地区):
JP
年份:
2017
代理人:
摘要:
PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a piezoelectric device having appropriate strength, and a piezoelectric module and an electronic apparatus.SOLUTION: A piezoelectric device comprises: an element substrate 41 having a first surface (actuation surface 41B) and a second surface (back surface 41A) of an opposite side to the first surface, and having recessed opening portions provided on the first surface and supporting portions surrounding the recessed opening portions; piezoelectric materials (piezoelectric elements 413) provided on the second surface of the recessed opening portions; a plurality of connection electrodes (lower connection electrodes 414A and upper connection electrodes 416A) being connected to the piezoelectric materials and led out from the piezoelectric materials to the second surface of the supporting portions; reinforcing plates (sealing plates 42) bonded to a second surface side of the element substrate 41; and a plurality of through electrodes (first through electrodes 423 and second through electrodes 424) being provided at positions facing supporting portions of the reinforcing plates, passing through the reinforcing plates in a thickness direction and connected to individual ones of the plurality of connection electrodes.SELECTED DRAWING: Figure 5【課題】適切な強度を備える圧電デバイス、圧電モジュール及び電子機器を提供する。【解決手段】圧電デバイスは、第一面(作動面41B)及び第一面とは反対側の第二面(背面41A)を有し、第一面に設けられた凹状開口部、及び凹状開口部を囲う支持部を有する素子基板41と、凹状開口部の第二面に設けられた圧電体(圧電素子413)と、圧電体に接続され、圧電体から支持部の第二面に引き出された複数の接続電極(下部接続電極414A及び上部接続電極416A)と、素子基板41の第二面側に接合される補強板(封止板42)と、補強板の支持部に対向する位置に設けられ、補強板を厚み方向に貫通し、複数の接続電極のそれぞれに対して接続される複数の貫通電極(第一貫通電極423及び第二貫通電極424)と、を備える。【選択図】図5
来源网站:
中国工程科技知识中心
来源网址:
http://www.ckcest.cn/home/

意 见 箱

匿名:登录

个人用户登录

找回密码

第三方账号登录

忘记密码

个人用户注册

必须为有效邮箱
6~16位数字与字母组合
6~16位数字与字母组合
请输入正确的手机号码

信息补充