The present invention relates to a sterilizing apparatus, and a sterilizing apparatus according to the present invention comprises a reaction chamber； A vacuum forming unit connected to the reaction chamber, for forming a vacuum inside the reaction chamber； A hydrogen peroxide supply unit for supplying gaseous hydrogen peroxide to the reaction chamber； And a microwave generating unit for generating microwaves.본 발명은 멸균 장치에 관한 것으로서, 본 발명에 의한 멸균 장치는, 반응 챔버； 상기 반응 챔버와 연결되고, 상기 반응 챔버 내부를 진공 상태로 만드는 진공 형성부； 상기 반응 챔버에 기체 상태의 과산화수소를 제공하는 과산화수소 공급부； 및 마이크로웨이브를 발생시키는 마이크로웨이브 발생부；를 포함한다.
