The present invention relates to a plasma sterilization device. The plasma sterilization device, according to the present invention, comprises a reaction chamber a vacuum-forming unit connected to the reaction chamber and forming a vacuum state inside the reaction chamber a hydrogen peroxide supply unit for supplying hydrogen peroxide in a gas state to the inside of the reaction chamber and a microwave plasma generating unit for generating plasma by using microwaves.COPYRIGHT KIPO 2014본 발명은 플라즈마 멸균 장치에 관한 것으로서, 본 발명에 따른 플라즈마 멸균 장치는, 반응 챔버 상기 반응 챔버와 연결되고, 상기 반응 챔버 내부를 진공 상태로 만드는 진공 형성부 상기 반응 챔버에 기체 상태의 과산화수소를 제공하는 과산화수소 공급부 및 마이크로웨이브를 이용하여 플라즈마를 발생시키는 마이크로웨이브 플라즈마 발생부를 포함한다.
