Zur Analyse eines in einem Anlagenteil (1) geführten Prozessgases (2) wird das Licht (9) einer Lichtquelle (7) nach Durchstrahlen des Prozessgases (2) mittels eines Detektors (8) detektiert und in einer nachgeordneten Auswerteeinrichtung (18) hinsichtlich der Absorption in dem Prozessgas (2) zu einem Analysenergebnis (19) ausgewertet. Zwischen der Lichtquelle (7) und dem Anlagenteil (1) sowie zwischen dem Detektor (8) und dem Anlagenteil (1) sind zu dem Inneren des Anlagenteils (1) hin offene Kammern oder Spülrohre (10, 11) vorhanden, die mit einem Spülgas (12) beströmt werden. Um eine weitgehende Kompensation von durch die Spülung verursachten Messfehlern zu ermöglichen, wird der Volumenstrom des Spülgases (12) moduliert und der Einfluss des Spülgases (12) auf das Analysenergebnis (19) anhand von durch die Modulation hervorgerufenen Änderungen der detektierten Absorption bestimmt und aus dem Analysenergebnis (19) entfernt.
