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加速度補正データ算出装置及び加速度センサの製造方法
- 专利权人:
- 富士電機株式会社
- 发明人:
- 柿沼 実
- 申请号：
- JP20150190301
- 公开号：
- JP2017067500(A)
- 申请日:
- 2015.09.28
- 申请国别(地区):
- 日本
- 年份:
- 2017
- 代理人:
- 摘要：
- 【課題】静電容量型の加速度センサにおいて温度補正に用いられる補正データを容易に算出可能な加速度補正データ算出装置を提供すること。【解決手段】静電容量型の加速度センサにおいて温度補正に用いられる補正データを算出する加速度補正データ算出装置であって、基準温度において前記加速度センサに設けられている可動電極と固定電極との電極間隔を計測する電極間隔計測部と、前記基準温度から温度が変化した場合の前記可動電極及び前記固定電極の変形量を算出する変形量算出部と、前記電極間隔計測部によって計測された電極間隔及び前記変形量算出部によって算出された変形量に基づいて、前記可動電極と前記固定電極との間の静電容量を算出する静電容量算出部と、前記静電容量算出部によって算出された静電容量に基づいて、前記基
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
- 来源网址：
- http://www.ckcest.cn/home/
