DEPOSITION SORCE DEPOSITION DEVICE INCLUDING THE SAME AND METHOD OF MANUFACTURING DISPLAY DEVICE USING THE DEPOSITION DEVICE

• 收藏
• 分享

专利权人:

삼성디스플레이 주식회사

发明人:

김은호,김무현,이수환

申请号：

KR20150096533

公开号：

KR20170006326(A)

申请日:

2015.07.07

申请国别(地区):

韩国

年份:

2017

代理人:

摘要：

증착원, 이를 포함하는 증착 장치 및 증착 장치를 이용한 표시 장치의 제조 방법이 제공된다. 일례로, 증착원은 증착 물질을 수용하는 복수의 도가니; 상기 복수의 도가니 각각을 감싸며, 상기 복수의 도가니 중 적어도 하나의 도가니를 선택적으로 가열하도록 독립적으로 구동되는 복수의 히터; 상기 복수의 도가니 각각을 덮으며, 적어도 하나의 노즐을 포함하는 복수의 노즐부; 및 상기 복수의 도가니, 상기 복수의 노즐부 및 상기 복수의 히터를 수용하는 하우징을 포함한다.

来源网站：

中国工程科技知识中心

来源网址：

http://www.ckcest.cn/home/