The atmosphere in the sterilization box 18 should prevent the side chamber (44) as well as for filler and filler 42, the atmosphere is not flowing toward the side of the sterilization box 18 . Installing the intermediate chamber 40 between the vessel (2) sterilized by irradiation with an electron beam to perform the sterilization box 18 and a sterile vessel (2) a filler for filling the contents in the 42 to place a chamber 44 The . High pressure in the intermediate chamber 40 than the pressure in the sterilization box 18 is also controlled by the pressure control means so that the pressure in the chamber is more than 44 of the pillar 42 . Since the pressure in the intermediate chamber 40, the highest , the atmosphere in the sterilization of the upstream-side box 18 does not flow toward the pillar 42 , the atmosphere in the chamber 44 for the filler can not work flowing toward the sterilization box 18 .살균 박스(18) 내의 분위기가 필러용 챔버(44)측으로 가지 않도록 함과 아울러, 필러(42)측의 분위기가 살균 박스(18)측으로 유입되지 않도록 한다. 용기(2)에 전자선을 조사해서 살균을 행하는 살균 박스(18)와, 살균된 용기(2)에 내용물을 충전하는 필러(42)를 배치한 챔버(44) 사이에 중간 챔버(40)를 설치한다. 이 중간 챔버(40)의 압력을 상기 살균 박스(18) 내의 압력보다 높고 또한 필러(42)의 챔버(44) 내의 압력 이상이 되도록 압력 제어 수단에 의해 컨트롤한다. 중간 챔버(40)의 압력이 가장 높으므로, 상류측의 살균 박스(18) 내의 분위기가 필러(42)측으로 흐르지 않고, 필러용 챔버(44) 내의 분위기가 살균 박스(18)측으로 유입되는 일도 없다.
