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表面形状測定方法、心ずれ量算出方法、及び表面形状測定装置
- 专利权人:
- 株式会社東京精密
- 发明人:
- 増田 光
- 申请号：
- JP20160208440
- 公开号：
- JP6083104(B1)
- 申请日:
- 2016.10.25
- 申请国别(地区):
- 日本
- 年份:
- 2017
- 代理人:
- 摘要：
- 【課題】ワークの形状パラメータを高精度かつ再現性高く測定することができ、汎用性に優れた測定を可能とする表面形状測定装置及び表面形状測定方法を提供する。【解決手段】回転中心を通過する基準線に平行な方向であって基準線からずれた直線上であってワークＷを挟んだ２つの位置のうち一方位置に検出器２６を配置した状態でワークの表面形状を測定する第１測定手段と、２つの位置のうち他方位置に検出器を配置した状態でワークの表面形状を測定する第２測定手段と、第１測定手段による測定結果と第２測定手段による測定結果とを照合して、ワークの表面形状を規定する形状パラメータを算出する形状パラメータ算出手段３４と、を備える。【選択図】図１
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
- 来源网址：
- http://www.ckcest.cn/home/
