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一种半导体气体传感器低频温度调制检测方法
- 专利权人:
- 哈尔滨理工大学
- 发明人:
- 赵文杰,胡军,周真,施云波,王暄,于洋
- 申请号：
- CN201610562247.1
- 公开号：
- CN106018497A
- 申请日:
- 2016.07.18
- 申请国别(地区):
- 中国
- 年份:
- 2016
- 代理人:
- 摘要：
- 一种半导体气体传感器低频温度调制检测方法，涉及一种针对半导体气体传感器的低频脉冲加热温度调制检测方法，解决了现有半导体气体传感器恒定加热条件下传感器输出的非线性，选择性差，抗环境温度干扰能力弱等缺点。本发明针对半导体气体传感器采用周期性脉冲调制电压加热方法，在调制频率为0.05‑0.5Hz的周期性矩形波信号、正弦波信号和三角波信号的加热调制电压下，半导体气体传感器输出同周期变化的脉冲电阻信号，通过设定传感器输出信号波形的幅值比△Ra/△Rg（或△Rg/△Ra）作为传感器检测输出信号，在低频温度调制范围内被测气体浓度与传感器输出信号波形的幅值比呈近似线性变化规律。本发明适用于半导体气体传感器。
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
- 来源网址：
- http://www.ckcest.cn/home/
