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Inspection device, image processing device, correction value calculation method, image processing method, inspection program, and correction program
专利权人:
オリンパス株式会社
发明人:
申 英寿
申请号:
JP2017551750
公开号:
JPWO2017086010A1
申请日:
2016.09.15
申请国别(地区):
JP
年份:
2018
代理人:
摘要:
Provided is an inspection apparatus capable of accurately correcting lateral stripe noise even when different noises are generated in an OB pixel portion and an effective pixel portion due to fluctuations in power supply voltage. The inspection apparatus 6 includes an acquisition unit 641 that acquires dark image data generated by the imaging unit 20, and a dummy signal output from each of the plurality of dummy pixels 247 based on the dark image data acquired by the acquisition unit 641. A plurality of dummy pixels based on a first calculation unit that calculates a first average value, a second calculation unit, a first average value calculated by the first calculation unit, and a second average value calculated by the second calculation unit The third calculation unit 648 that calculates the degree of correlation between the dummy signal output by each of 247 and the imaging signal output by each of the plurality of pixels, and the degree of correlation calculated by the third calculation unit 648 in the imaging unit 20 And a recording control unit 649 for recording in the connector recording unit 53 provided.電源電圧の変動によって、OB画素部と有効画素部とで互いに異なるノイズが発生した場合であっても、精度よく横筋ノイズを補正することができる検査装置を提供する。検査装置6は、撮像部20が生成した暗時画像データを取得する取得部641と、取得部641が取得した暗時画像データに基づいて、複数のダミー画素247の各々が出力したダミー信号の第1平均値を算出する第1算出部と、第2算出部と、第1算出部が算出した第1平均値および第2算出部が算出した第2平均値に基づいて、複数のダミー画素247の各々が出力するダミー信号と複数の画素の各々が出力する撮像信号との相関の度合いを算出する第3算出部648と、第3算出部648が算出した相関の度合いを撮像部20に設けられたコネクタ記録部53に記録させる記録制御部649と、を備える。
来源网站:
中国工程科技知识中心
来源网址:
http://www.ckcest.cn/home/

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