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METHOD FOR THE HYDROGENATION OF SILICON TETRACHLORIDE TO TRICHLOROSILANE BY A GAS MIXTURE OF HYDROGEN AND HYDROGEN CHLORIDE
专利权人:
EVONIK DEGUSSA GMBH
发明人:
DÖRING, DR. JENS,LUNT-RIEG, INGRID,PAULI, DR. INGO,SCHLADERBECK, DR. NORBERT,SAUER, DR. JÖRG
申请号:
EP20150162421
公开号:
EP3075707(A1)
申请日:
2015.04.02
申请国别(地区):
欧洲专利局
年份:
2016
代理人:
摘要:
Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Umsetzung von Siliciumtetrachlorid mit Wasserstoff zu Trichlorsilan in einem Hydrodechlorierungsreaktor (3), wobei der Hydrodechlorierungsreaktor (3) unter Druck betrieben wird und ein oder mehrere Reaktorrohre (3a, 3b, 3c) aus keramischem Material umfasst, und der wasserstoffhaltige Eduktstrom (2) am Eingang des Reaktors Chlorwasserstoff aufweist.
来源网站:
中国工程科技知识中心
来源网址:
http://www.ckcest.cn/home/

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