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レジスト永久膜用硬化性組成物及びレジスト永久膜
- 专利权人:
- ＤＩＣ株式会社
- 发明人:
- 今田 知之
- 申请号：
- JP20160536257
- 公开号：
- JPWO2016114000(A1)
- 申请日:
- 2015.11.19
- 申请国别(地区):
- 日本
- 年份:
- 2017
- 代理人:
- 摘要：
- 溶剤への溶解性に優れ、しかも、アルカリ現像性、耐熱分解性、光感度及び解像度に優れる塗膜が得られ、特にレジスト永久膜を得るのに好適な硬化性組成物、該硬化性組成物を用いて得られるレジスト永久膜を提供する。具体的には下記構造式（１）（式中、Ｒ１は水素原子、アルキル基又はアリール基であり、ｎは２〜１０の整数である。Ｒ２はアルキル基、アルコキシ基、アリール基、アラルキル基、ハロゲン原子の何れかであり、ｍは０〜４の整数である。ｍが２以上の場合、複数のＲ２はそれぞれ同一でも良いし異なっていても良く、ナフチレン骨格の２つの芳香環のうちどちらに結合していても良い。）で表される分子構造を有するフェノール性水酸基含有化合物（Ａ）と、感光剤（Ｂ１）または硬化剤（Ｂ２）とを含有するレジスト永久膜用硬
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
- 来源网址：
- http://www.ckcest.cn/home/
