SEOUL NATIONAL UNIVERSITY R&DB FOUNDATION;서울대학교산학협력단
发明人:
KIM, Sung June,김성준,KIM, Jin Ho,김진호,JEONG, Joonsoo,정준수,LEE, Sung Eun,이성은,PARK, Jeong Hoan,박정환,MIN, Kyu Sik,민규식
申请号:
KRKR2015/008344
公开号:
WO2016/022003A1
申请日:
2015.08.10
申请国别(地区):
KR
年份:
2016
代理人:
摘要:
A method for manufacturing a liquid crystal polymer-based electrode array for a neural implant, according to the present invention, can comprise the steps of: forming a seed layer on a liquid crystal polymer substrate; forming a plating mold having a pattern selectively exposing a part of the upper part of the seed layer; plating an electrode material on the exposed seed layer by using the plating mold as a plating barrier layer; forming an electrode by removing the plating mold and the seed layer therebelow; embedding the electrode by compressing a liquid crystal polymer cover layer on the electrode; and forming an electrode site exposing the upper part of the electrode by selectively removing a part of the liquid crystal polymer cover layer.La présente invention concerne un procédé de fabrication d'un réseau d'électrodes à base de polymère à cristaux liquides pour un implant neural qui peut comprendre les étapes de : formation d'une couche de germe sur un substrat de polymère à cristaux liquides ; formation d'un moule de placage ayant un motif exposant sélectivement une partie de la partie supérieure de la couche de germe ; le placage d'un matériau d'électrode sur la couche de germe exposée par utilisation du moule de placage sous la forme d'une couche de barrière de placage ; formation d'une électrode par retrait du moule de placage et de la couche de germe au-dessous de celui-ci ; incorporation de l'électrode par compression d'une couche de couverture de polymère à cristaux liquide sur l'électrode ; et formation d'un site d'électrode exposant la partie supérieure de l'électrode par retrait sélectif d'une partie de la couche de couverture de polymère à cristaux liquides.본 발명에 따른 액정 폴리머 기반의 신경 임플란트용 전극 어레이 제조 방법은, 액정 폴리머 기판 상에 시드층을 형성하는 과정과, 상기 시드층의 상부 일부를 선택적으로 노출시키는 패턴을 갖는 도금 몰드를 형성하는 과정과, 상기 도금 몰드를 도금 장벽층으로 하여 노출된 시드층 상에 전극 물질을 도금하는 과정과, 상기 도금 몰드와 그 하부의 시드층을 제거하여 전극을 형성하는 과정과, 상기 전극 상에 액정 폴리머 커버층을 압착하여 상기 전극을 매립시키는 과정과, 상기 액정 폴리머 커버층의 일부를 선택 제거함으로써 상기 전극의 상부를 노