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MICROELECTRODE ARRAY AND PACKAGE FOR LIQUID CRYSTAL POLYMER BASED NEUROPROSTHESES AND MANUFACTURING METHOD THEREOF
专利权人:
서울대학교산학협력단
发明人:
김성준,김진호,정준수,이성은,박정환,민규식
申请号:
KR1020140102106
公开号:
KR1016548010000B1
申请日:
2014.08.08
申请国别(地区):
KR
年份:
2016
代理人:
摘要:
A method of manufacturing an electrode array for a neural implant based on a liquid crystal polymer according to the present invention includes the steps of forming a seed layer on a liquid crystal polymer substrate, forming a plating mold having a pattern selectively exposing an upper part of the seed layer A step of forming an electrode by plating the electrode material on the exposed seed layer using the plating mold as a plating barrier layer, removing the seed layer and the seed layer below the plating mold, and forming a liquid crystal polymer A step of filling the electrode by pressing the cover layer; and a step of forming an electrode site exposing an upper portion of the electrode by selectively removing a part of the liquid crystal polymer cover layer.본 발명에 따른 액정 폴리머 기반의 신경 임플란트용 전극 어레이 제조 방법은, 액정 폴리머 기판 상에 시드층을 형성하는 과정과, 상기 시드층의 상부 일부를 선택적으로 노출시키는 패턴을 갖는 도금 몰드를 형성하는 과정과, 상기 도금 몰드를 도금 장벽층으로 하여 노출된 시드층 상에 전극 물질을 도금하는 과정과, 상기 도금 몰드와 그 하부의 시드층을 제거하여 전극을 형성하는 과정과, 상기 전극 상에 액정 폴리머 커버층을 압착하여 상기 전극을 매립시키는 과정과, 상기 액정 폴리머 커버층의 일부를 선택 제거함으로써 상기 전극의 상부를 노출시키는 전극 사이트를 형성하는 과정을 포함할 수 있다.
来源网站:
中国工程科技知识中心
来源网址:
http://www.ckcest.cn/home/

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