Multiple-electrode plasma processing systems with confined process chambers and interior-bussed electrical connections with the electrodes

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专利权人:

노드슨 코포레이션

发明人:

볼덴 2세 토마스 브이.,피에로 루이스,케티 제임스 디.

申请号：

KR20160096261

公开号：

KR101695632(B1)

申请日:

2016.07.28

申请国别(地区):

韩国

年份:

2017

代理人:

摘要：

소스 가스로부터 발생된 플라스마를 갖는 제품들을 처리하기 위한 장치가 제공된다. 상기 장치는 진공 체임버, 상기 진공 체임버 내부의 인접 쌍에 배치된 복수의 병치된 전극들, 및 상기 플라스마와 전기적으로 접속된 플라스마 여자 소스를 포함한다. 상기 장치는 상기 플라스마 여자 소스와 각각 전기 접속부를 형성하기 위해 각각의 전극의 내부로 연장하는 전도성 부재들을 포함할 수 있다. 상기 장치는 가스 분배 다기관 및 상기 가스 분배 다기관에 결속된 다중 가스 전달 튜브를 포함할 수 있다. 각각의 가스 전달 튜브는 전극들의 인접 쌍 각각 사이로 상기 소스 가스를 분사하도록 구성된 분사 포트를 갖는다. 상기 장치는 상기 전극들의 인접 쌍들 각각 사이의 주변 갭을 부분적으로 차단하도록 작동하는 유동 제한 부재를 추가로 포함하며, 또한 상기 유동 제한 부

来源网站：

中国工程科技知识中心

来源网址：

http://www.ckcest.cn/home/