FIFE, Keith, G.,LIU, Jianwei,YANG, Jungwook,LUTSKY, Joseph
申请号：
USUS2019/030388
公开号：
WO2019/213388A1
申请日:
2019.05.02
申请国别(地区):
US
年份:
2019
代理人:
摘要：
Micromachined ultrasonic transducers having pressure ports are described. The micromachined ultrasonic transducers may comprise flexible membranes configured to vibrate over a cavity. The cavity may be sealed, in some instances by the membrane itself. A pressure port may provide access to the cavity, and thus control of the cavity pressure. In some embodiments, an ultrasound device including an array of micromachined ultrasonic transducers is provided, with pressure ports for at least some of the ultrasonic transducers. The pressure ports may be used to control pressure across the array.L'invention concerne des transducteurs ultrasonores micro-usinés ayant des orifices de pression. Les transducteurs ultrasonores micro-usinés peuvent comprendre des membranes souples configurées pour vibrer sur une cavité. La cavité peut être scellée, dans certains cas, par la membrane elle-même. Un orifice de pression peut fournir un accès à la cavité, et ainsi commander la pression de la cavité. Dans certains modes de réalisation, un dispositif à ultrasons comprenant un réseau de transducteurs ultrasonores micro-usinés est pourvu, avec des orifices de pression pour au moins certains des transducteurs à ultrasons. Les orifices de pression peuvent être utilisés pour réguler la pression à travers le réseau.
