一种透明导电薄膜光学常数及厚度的测量方法
- 专利权人:
- 中国建筑材料科学研究总院
- 发明人:
- 余刚,汪洪
- 申请号：
- CN201510382855.X
- 公开号：
- CN104964710B
- 申请日:
- 2015.07.02
- 申请国别(地区):
- 中国
- 年份:
- 2017
- 代理人:
- 王伟锋`刘铁生
- 摘要：
- 本发明公开了一种透明导电薄膜光学常数及厚度的测量方法，包括以下步骤：测量透明导电薄膜样品的透射光谱及膜面反射光谱；建立包含德鲁得振子和洛伦兹振子的复合振子模型，并对该模型的参数及膜层厚度进行初始设置；进行遗传算法最佳值搜索，得模型参数及膜层厚度的最佳值，该膜层厚度的最佳值即薄膜样品的厚度；根据模型参数的最佳值生成最佳复合振子模型，并依次通过振子‑介电常数转换、介电常数‑光学常数转换得最佳光学常数，即薄膜样品的光学常数。该方法能够简单、快速、准确的获得透明导电薄膜光、电性能数据，降低了生产成本。
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
