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SYSTÈMES ET PROCÉDÉS DE VALIDATION DE TRAITEMENT
专利权人:
AMO Development; LLC
发明人:
申请号:
EP14805733.4
公开号:
EP3065680A1
申请日:
2014.11.07
申请国别(地区):
EP
年份:
2016
代理人:
摘要:
Treatment validation techniques include generating a modified treatment target from an original treatment target using a modification process, and comparing induced aberrations provided by the original and modified treatment targets, so as to verify the modified treatment target or the modification process. In some cases, a modification process may include a deconvolution process, a low pass filter process, a scaling process, or an adjustment process. The induced aberrations may include high order aberrations, such as spherical aberration.La présente invention concerne des techniques de validation de traitement, comprenant la production d'une cible de traitement modifié à partir d'une cible de traitement original au moyen d'un processus de modification, et la comparaison des aberrations induites fournies par les cibles de traitement original et modifié, de manière à vérifier la cible de traitement modifié ou le processus de modification. Dans certains cas, un processus de modification peut inclure un processus de déconvolution, un processus de filtre passe-bas, un processus de mise à l'échelle ou un processus d'ajustement. Les aberrations induites peuvent inclure des aberrations d'ordre supérieur, telles que des aberrations sphériques.
来源网站:
中国工程科技知识中心
来源网址:
http://www.ckcest.cn/home/

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