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측정 장치
专利权人:
CANON KABUSHIKI KAISHA
发明人:
NAKAJIMA TAKAO,나카지마 타카오,ASAO YASUFUMI,아사오 야수후미
申请号:
KR1020137020407
公开号:
KR1020130131422A
申请日:
2011.12.28
申请国别(地区):
KR
年份:
2013
代理人:
摘要:
A measuring apparatus has a holding unit for holding an object, and a probe including a receiving element for receiving through the holding unit an acoustic wave generated by the object irradiated with light. The light is applied to an object surface held by the holding unit. The probe is arranged such that a direction of a normal to the object surface held by the holding unit is nonparallel to a direction in which the receiving element exhibits its highest reception sensitivity.측정 장치는, 피검체를 유지하는 유지부와, 광이 조사된 피검체로부터 생긴 음향파를 유지부를 거쳐서 수신하는 수신 소자를 포함하는 탐촉자를 갖는다. 광은 유지부에 유지된 피검체 표면에 조사된다. 탐촉자는, 유지부에 유지된 피검체 표면의 법선의 방향과 수신 소자의 수신 감도가 가장 높은 방향이 비평행하도록 배치된다.
来源网站:
中国工程科技知识中心
来源网址:
http://www.ckcest.cn/home/

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