多結晶材表面の加工方法およびそれを用いて加工された多結晶材の接合方法
- 专利权人:
- 日立オートモティブシステムズ株式会社
- 发明人:
- 金野 雄志,菊地 広,宮嶋 健太郎,出川 宗里
- 申请号：
- JP20150209509
- 公开号：
- JP2017084887(A)
- 申请日:
- 2015.10.26
- 申请国别(地区):
- 日本
- 年份:
- 2017
- 代理人:
- 摘要：
- 【課題】多結晶材料の表面を、ナノメートルオーダーの粗さで研磨可能な多結晶材表面の加工方法を提供すること。【解決手段】多結晶材料表面に存在する非晶質皮膜の厚さ内において、凸部の除去及び非晶質皮膜の再生を行うことで、ナノメートルオーダーの粗さで平滑化する。【選択図】図１
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
