PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a micropump and a fluid transfer device which can be used in analysis and medical equipment supplying a minutely small amount of gas and liquid, particularly electronic equipment supplying the liquid, and thereby realizing compact electronic equipment having excellent flow rate control performance and reliability with noise and vibration reduced.SOLUTION: A micropump comprises: a diaphragm 2 a drive element 3 a pump room 4 a flow passage member 6 a first flow passage and a second flow passage. The diaphragm 2 is made up of a metal plate 2a and an insulating film 2b arranged on the metal plate 2a. The drive element 3 is arranged on the insulating film 2b. The pump room 4 is installed between the metal plate 2a of the diaphragm 2 and the flow passage member 6 arranged on the metal plate 2a. The first flow passage and the second flow passage are respectively installed on the flow passage member 6 and communicate with the pump room 4. An insulating resin layer 9 is arranged on the drive element 3.SELECTED DRAWING: Figure 2COPYRIGHT: (C)2018,JPO&INPIT【課題】マイクロポンプおよび流体移送装置は、分析装置や医療関連など、微少量の気体や液体、特に液体を供給する電子機器に用いることで、小型で流量制御および信頼性に優れ、騒音、振動の低減された電子機器を実現する。【解決手段】ダイヤフラム2と、駆動素子3と、ポンプ室4と、流路部材6と、第1流路と、第2流路とを備えたマイクロポンプにおいて、ダイヤフラム2は、金属板2aと、金属板2a上に配置された絶縁性フィルム2bとにより構成されている。駆動素子3は、絶縁性フィルム2b上に配置されている。ポンプ室4は、ダイヤフラム2の金属板2aと、金属板2aに配置された流路部材6との間に設けられている。第1流路および第2流路は、流路部材6にそれぞれ設けられて、ポンプ室4と連通している。駆動素子3上には、絶縁性樹脂層9が配置されている。【選択図】図2
