PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an ultrasonic vibrator of high reliability obtaining excellent ultrasonic images by arranging a backing material having uniform acoustic characteristics to each piezoelectric element.SOLUTION: This method for manufacturing the ultrasonic vibrator comprises processes for: forming an acoustic matching layer 2 by laminating a second acoustic matching layer 2b softer than a first acoustic matching layer 2a, on the first acoustic matching layer 2a forming a laminate 22 by laminating a piezoelectric ceramic 13 having electrodes 5a, 5b on both faces, on the first acoustic matching layer surface of the acoustic matching layer 2 forming split grooves 15 at predetermined spaces in the piezoelectric ceramic 13 deforming the laminate 22 into cylindrical or circular arc shape so that the piezoelectric ceramic 13 is placed inside supplying liquid resin 33 to the piezoelectric ceramic 13 side and curing the liquid resin 33 while rotating the laminate 22 so that the center axis is on the piezoelectric ceramic 13 side.COPYRIGHT: (C)2010,JPO&INPIT【課題】各圧電素子に対して均一な音響特性を有するバッキング材を配置して、良好な超音波画像を得られる高信頼性の超音波振動子を提供すること。【解決手段】第1音響整合層2a上に第1音響整合層2aよりも軟質な第2音響整合層2bを積層して音響整合層2を形成する工程と、両面に電極5a、5bを有する圧電セラミック13を、音響整合層2の第1音響整合層面に積層して積層体22を形成する工程と、圧電セラミック13に所定間隔の分割溝15を形成する工程と、圧電セラミック13が内側となるように積層体22を筒状、または円弧状に変形する工程と、圧電セラミック13側に液状樹脂33を供給する工程と、圧電セラミック13側に中心軸がくるように積層体22を回転させながら、液状樹脂33を硬化させる工程と、を具備している。【選択図】図16
