PROBLEM TO BE SOLVED: To provide phase-contrast imaging which visualizes phase information of coherent radiation passing a scanned object, solving the problem of, in the case of cone-beam geometry, strong phase-contrast distortions arising in regions outside the center of the field of view (FOV).SOLUTION: The invention provides a grating for a phase contrast imaging apparatus for examining an object of interest. Focused gratings are used which reduce creation of trapezoid profile in a projection with a particular angle to the optical axis. A laser supported method is used in combination with a dedicated etching process for creating such focused grating structures.SELECTED DRAWING: Figure 8COPYRIGHT: (C)2018,JPO&INPIT【課題】本発明は、スキャンされる対象物を通過するコヒーレントな放射線の位相情報を視覚化する位相コントラスト撮像に関する。コーンビームジオメトリの場合、強い位相コントラストゆがみは、撮像野(FOV)の中心の外側領域において起こる【解決手段】関心対象物を検査する位相コントラスト撮像装置に関する格子が提供される。光軸に対する特定の角度の投影において台形プロファイルの作成を減らす集束格子が使用される。レーザーサポート法は、斯かる集束格子構造を作成する専用のエッチング処理と組み合わせて使用される。【選択図】 図8
