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傾けられた格子及び傾けられた格子の製造方法
专利权人:
コーニンクレッカ フィリップス エヌ ヴェ
发明人:
フォフトメイエル ヒェレオン,エンゲル クラウス ジェイ,コエレル トマス,ロエッシ エワルド,シュロムカ イェンス-ペテル
申请号:
JP2012515588
公开号:
JP6281969B2
申请日:
2010.06.09
申请国别(地区):
JP
年份:
2018
代理人:
摘要:
The present invention relates to phase-contrast imaging which visualizes the phase information of coherent radiation passing a scanned object. Focused gratings are used which reduce the creation of trapezoid profile in a projection with a particular angle to the optical axis. A laser supported method is used in combination with a dedicating etching process for creating such focused grating structures.
来源网站:
中国工程科技知识中心
来源网址:
http://www.ckcest.cn/home/

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