본 발명은 시료고정부(holder)가 연속 배열되고 이동 가능한 시료스테이지를 시료실 벽(Chamber wall)의 한 부분으로 구성하는 시료실을 포함하는 전자현미경 및 광-전자 융합현미경에 관한 것으로, 전자원(20)으로부터 방출된 전자빔을 집속하여 출사하며, 진공배기관(30)을 구비한 전자빔 경통(10); 상기 전자빔 경통(10)을 상부 벽(upper wall)의 전부 또는 일부로 포함하고, 하부 벽의 중심에 개구(hole)가 형성되며, 진공배기관(31)을 구비한 시료실(100); 상기 시료실(100) 하부 벽의 개구(110)를 통해 상기 경통과 대향하는 시료고정부(210)가 연속 배열되고, 진공밀봉을 위해 상기 시료실 하부 벽 하면의 개구를 둘러싸는 고리형 밀봉부재(120)를 사이에 두고 접하여, 시료실 진공이 유지되는 상태에서 수평이동하여 연속 배열된 시료고정부가 순차적으로 상기 출사하는 전자빔에 노출되는
