The present invention provides a device (10) for forming at an ambient atmospheric pressure a gaseous plasma comprising active species for treatment of a treatment region. The device comprises a plasma cell (12) for forming the gaseous plasma for treating the treatment region. The plasma cell comprises an inlet (16) for receiving gas from a source (18) and an outlet (20) for discharging active species generated in the cell. A dielectric substrate (22) made of a polyimide encloses around a flow path for gas conveyed from the inlet to the outlet and an electrode (26) is formed on the dielectric substrate for energising gas along the flow path to form active species. A protective coating or lining (32) is located on an inner surface of the dielectric substrate (22) for resisting reaction on the active species generated in the plasma cell (12) with the material of the dielectric substrate (22).La présente invention concerne un dispositif (10) permettant de former à la pression atmosphérique ambiante un plasma gazeux comprenant des espèces actives pour le traitement dune région à traiter. Le dispositif comprend une cellule à plasma (12) servant à former le plasma gazeux pour le traitement de la région à traiter. La cellule à plasma comprend une entrée (16) pour la réception du gaz provenant dune source (18) et une sortie (20) pour lévacuation des espèces actives générées dans la cellule. Un substrat diélectrique composé dun polyimide entoure un trajet découlement du gaz transporté de lentrée vers la sortie et une électrode (26) est formée sur le substrat diélectrique pour exciter le gaz sur le trajet découlement pour la formation des espèces actives. Un revêtement ou une garniture de protection (32) est placé sur une surface intérieure du substrat diélectrique (22) pour assurer la résistance à la réaction avec le matériau du substrat diélectrique (22) sur les espèces actives générées dans la cellule à plasma (12).
