A device for forming at an ambient atmospheric pressure a gaseous plasma comprising active species for treatment of a treatment region. The device comprises a plasma cell for forming the gaseous plasma. The plasma cell comprises an inlet for receiving gas from a source and an outlet for discharging active species generated therein. A dielectric substrate preferably made of a polyimide encloses around a flow path for gas conveyed from the inlet to the outlet and an electrode is formed on the dielectric substrate for energising gas along the flow path to form active species. A protective lining is located on an inner surface of the dielectric substrate for resisting reaction of the active species with the material of the dielectric substrate. An earth electrode comprising an electrode formed on a dielectric substrate substantially surrounds and at least partially overlaps the plasma cell.La présente invention concerne un dispositif (100) qui permet de former à la pression atmosphérique ambiante un plasma gazeux comprenant des espèces actives pour le traitement d'une région à traiter. Le dispositif comprend une cellule à plasma (112) pour former le plasma gazeux. La cellule à plasma comprend une entrée (116) pour recevoir un gaz provenant d'une source (118) et une sortie (119) pour évacuer des espèces actives générées dans la cellule. Un substrat diélectrique (22) composé de préférence d'un polyimide entoure un trajet d'écoulement du gaz transporté de l'entrée vers la sortie et une électrode (26) est formée sur le substrat diélectrique pour exciter le gaz le long du trajet d'écoulement afin que soient formées les espèces actives. Un revêtement de protection (32) est placé sur une surface intérieure du substrat diélectrique (22) pour assurer une résistance à la réaction des espèces actives avec le matériau du substrat diélectrique (22). Une électrode de terre (140) qui comprend une électrode formée sur un substrat diélectrique entoure sensiblement et chevauche au moins
