A device (100) for forming at an ambient atmospheric pressure a gaseous plasma comprising active species for treatment of a treatment region. The device comprises a plasma cell (112) for forming the gaseous plasma. The plasma cell comprises an inlet (116) for receiving gas from a source (118) and an outlet (119) for discharging active species generated therein. A dielectric substrate (22) preferably made of a polyimide encloses around a flow path for gas conveyed from the inlet to the outlet and an electrode (26) is formed on the dielectric substrate for energising gas along the flow path to form active species. A protective lining (32) is located on an inner surface of the dielectric substrate (22) for resisting reaction of tine active species with the material of the dielectric substrate (22). An earth electrode (140) comprising an electrode formed on a dielectric substrate substantially surrounds and at least partially overlaps the plasma cell.Un dispositivo (100) para formar, a una presión atmosférica ambiente, un plasma gaseoso que comprende especies activas para el tratamiento de una región de tratamiento. El dispositivo comprende una celda de plasma (112) para formar el plasma gaseoso. La celda de plasma comprende una entrada (116) para recibir gas de una fuente (118) y una entrada (119) para descargar las especies activas generadas en esta. Un sustrato dieléctrico (22) preferentemente hecho de una poliimida contiene a una vía de flujo para el gas transportado desde la entrada hacia la salida y un electrodo (26) se forma en el sustrato dieléctrico para activar el gas a lo largo de la vía de flujo para formar especies activas. Una recubrimiento protector (32) se ubica sobre una superficie interna del sustrato dieléctrico (22) para resistir la reacción de las especies activas con el material del sustrato dieléctrico (22). Un electrodo de puesta a tierra (140) que comprende un electrodo formado en un sustrato dieléctrico que rodea sustancialmente y al menos se s
