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PLASMA TREATMENT APPARATUS
专利权人:
FEAGLE CO.; LTD.;FEAGLE CO., LTD.;주식회사 피글
发明人:
LEE, HYUN YOUNG,이현영,CHOI, JEONG HAE,최정해,SONG, YEON SUK,송연숙,CHOI, BYULBORA,최별보라,LEE, HYUN YOUNGKR,CHOI, JEONG HAEKR,SONG, YEON SUKKR,CHOI, BYULBORAKR
申请号:
KR1020170005335
公开号:
KR1020180015060A
申请日:
2017.01.12
申请国别(地区):
KR
年份:
2018
代理人:
摘要:
The present invention relates to a plasma treatment apparatus. The plasma treatment apparatus according to one embodiment of the present invention includes: a plasma generating unit generating plasma; a gas supply unit supplying source gas for generating plasma to the plasma generating unit; a path providing unit providing a path through which the plasma generating unit moves on a body unit; and a driving unit moving the plasma generating unit along the path providing unit.본 발명은 플라즈마 치료 장치에 관한 것이다. 본 발명의 일 실시예에 따른 플라즈마 치료 장치는, 플라즈마를 발생시키는 플라즈마 발생부; 상기 플라즈마 발생부에 플라즈마를 발생시키기 위한 소스 가스를 공급하는 가스 공급부; 체부 위에 상기 플라즈마 발생부가 이동하는 경로를 제공하는 경로 제공부; 및 상기 플라즈마 발생부를 상기 경로 제공부를 따라 이동시키는 구동부를 포함할 수 있다.
来源网站:
中国工程科技知识中心
来源网址:
http://www.ckcest.cn/home/

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