ELECTRONICS AND TELECOMMUNICATIONS RESEARCH INSTITUTE;한국전자통신연구원
发明人:
김약연,YARK YEON KIM
申请号：
KR1020190095305
公开号：
KR1020200035843A
申请日:
2019.08.06
申请国别(地区):
KR
年份:
2020
代理人:
摘要：
A housing in which a window is formed on one side in a first direction, a stick-type plasma source provided in the housing, and generating plasma toward the window, and coupled to the plasma source, one end of the plasma source is a longitudinal direction of the window There is provided a plasma generating apparatus including a driving unit that reciprocates in a second direction.제 1 방향의 일측에 윈도우가 형성된 하우징, 상기 하우징 내에 제공되고, 상기 윈도우를 향하여 플라즈마를 발생시키는 스틱형 플라즈마 소스, 및 상기 플라즈마 소스에 결합되어, 상기 플라즈마 소스의 일단을 상기 윈도우의 길이 방향인 제 2 방향으로 왕복 운동시키는 구동부를 포함하는 플라즈마 발생 장치를 제공한다.
