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一种基于微井的气体传感器阵列及其制作方法
- 专利权人:
- 电子科技大学
- 发明人:
- 谢光忠,朱涛,廖剑,周泳,蒋亚东,杜晓松,黎威志,太惠玲
- 申请号：
- CN201210197280.0
- 公开号：
- CN102735712B
- 申请日:
- 2012.06.15
- 申请国别(地区):
- 中国
- 年份:
- 2014
- 代理人:
- 徐丰`杨保刚
- 摘要：
- 本发明公开了一种基于微井的气体传感器阵列及其制作方法，①所述气体传感器阵列采用MEMS技术，在SOI晶片表面制备叉指电极，在叉指电极上用SU-8光刻胶制作了出微井隔离层，可防止制备敏感膜时不同叉指电极间敏感材料的交叉污染，每个传感器阵列至少包括4个叉指电极单元；②每个叉指电极下面有独立的加热单元，大大提高了传感器的灵敏度和响应恢复时间；③以有机薄膜、有机/无机复合薄膜或有机-无机多层膜为敏感膜，通过测定敏感膜吸附气体时电阻的变化实现对气体的定性定量检测；④采用滴涂、气喷或电喷工艺制备敏感薄膜。该气体传感器阵列加在大气环境监测、航天密闭舱空气质量检测及食品安全等领域具有广泛的应用前景。
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
- 来源网址：
- http://www.ckcest.cn/home/
