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一种基于微井结构的气体传感器阵列及其制作方法
- 专利权人:
- 电子科技大学
- 发明人:
- 谢光忠,蒋亚东,杜晓松,太惠玲,朱涛,周泳,廖剑
- 申请号：
- CN201210052726.0
- 公开号：
- CN102590280A
- 申请日:
- 2012.03.02
- 申请国别(地区):
- 中国
- 年份:
- 2012
- 代理人:
- 杨保刚`徐丰
- 摘要：
- 本发明公开了一种基于微井结构的气体传感器阵列及其制作方法，包括至少4个独立的传感器单元，所述传感器单元采用微井结构，在各微井间设有聚酰亚胺隔离层；在所述微井井内沉积有以有机薄膜、有机/无机复合薄膜或有机-无机多层膜构成的敏感膜，微井表面设置有叉指电极。本发明在各微井间设置有聚酰亚胺隔离层，电子聚合物敏感材料滴入其中一个微井时，能有效阻止敏感材料溢出、流进其相邻的微井，不会造成不同微井间敏感材料的交叉污染，从而保证了传感器的选择性和稳定性；并且结构简单，加工成本较低，在大气环境监测、航天密闭舱空气质量检测及食品安全等领域具有广泛的应用前景。
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
- 来源网址：
- http://www.ckcest.cn/home/
