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一种视觉假体柔性神经微电极焊盘的制备方法
- 专利权人:
- 上海交通大学
- 发明人:
- 刘景全,吉博文,康晓洋,杨斌,陈翔,杨春生
- 申请号：
- CN201510582927.5
- 公开号：
- CN105169554B
- 申请日:
- 2015.09.14
- 申请国别(地区):
- CN
- 年份:
- 2017
- 代理人:
- 摘要：
- 本发明提供一种视觉假体柔性神经微电极焊盘的制备方法,包括:在基底上沉积一层聚对二甲苯薄膜;利用溅射、光刻和离子束刻蚀工艺形成图形化的金属薄层,旋涂光刻胶并露出所有焊点孔,通过反应离子刻蚀刻蚀掉焊点孔下方的聚对二甲苯;在焊盘端每一个环形金属焊点上利用光刻形成环形聚酰亚胺,并露出环形金属焊点孔周围的局部金区域;在环形聚酰亚胺上方利用溅射、光刻和离子束刻蚀工艺形成环形金属薄层;通过电镀金属工艺实现环形聚酰亚胺上、下环形金层的连接;沉积一层聚对二甲苯薄膜用来封装,通过反应离子刻蚀暴露出环形金属导电窗口,再从基底上释放包括焊盘在内的整个电极。本发明保证了电极的透明性、低渗透性和生物相容性。
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
- 来源网址：
- http://www.ckcest.cn/home/
