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一种人工耳蜗电极及其制备方法
- 专利权人:
- 上海交通大学
- 发明人:
- 刘景全,包步峰,吉博文,杨斌,陈翔,王晓林
- 申请号:
- CN201710869123.2
- 公开号:
- CN107585735B
- 申请日:
- 2017.22.09
- 申请国别(地区):
- CN
- 年份:
- 2019
- 代理人:
- 摘要:
- 本发明提供了一种人工耳蜗及其制备方法,所述人工耳蜗电极设有屏蔽电极点之间串扰的结构,屏蔽电极点之间串扰的结构是指每一个电极点被地线包围,每个电极点之间互相屏蔽,每一个电极点和地线之间的电场均匀分布于该结构之间,保证了相邻电极点之间不会出现串扰。所述方法是在衬底上先做一层牺牲层,在其上旋涂一层聚合物,在聚合物上溅射一层金属为金属层,在制作这一层时将电极点的周围包围一圈,作为地线,最后再做一层聚合物做绝缘层,并将电极释放,最后用PDMS进行封装。本发明工艺简单易实现、易与微加工工艺相结合,减小电流的扩散,使得电场分布集中于电极点和地线之间,减小相邻电极点之间信号发生串扰,提高刺激区域的准确性。
- 来源网站:
- 中国工程科技知识中心
- 来源网址:
- http://www.ckcest.cn/home/