基于蜿蜒线的柔性MEMS可延展传感器及其制备方法
- 专利权人:
- 上海交通大学
- 发明人:
- 刘景全,洪雯
- 申请号：
- CN201911410058.2
- 公开号：
- CN111134831A
- 申请日:
- 2019.31.12
- 申请国别(地区):
- CN
- 年份:
- 2020
- 代理人:
- 摘要：
- 本发明提供了一种基于蜿蜒线的柔性MEMS可延展传感器,包括可延展基底层、底部绝缘层、金属层和顶部绝缘层;其中,可延展基底层位于结构最底层;底部绝缘层设置于可延展基底层的上;金属层设置于底部绝缘层的上方;顶部绝缘层设置于金属层的上方;底部绝缘层、金属层和顶部绝缘层的形状呈蜿蜒状延伸,用以增强其延展性。本发明传感器贴附于其他物体,随其他物体表面的伸缩被重复拉伸收缩后,基于基底层本身的可延展性以及蜿蜒状的底部绝缘层、金属层和顶部绝缘层的延展性,该传感器可以正常工作。
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
