一种柔性压力传感器及其制备方法和诊脉仪

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专利权人:

清华大学深圳研究生院

发明人:

董瑛,楚尧,刘慧梁,韩留洋,王晓浩

申请号：

CN201910274808.1

公开号：

CN110017937A

申请日:

2019.08.04

申请国别(地区):

CN

年份:

2019

代理人:

摘要：

本发明公开了一种柔性压力传感器及其制备方法和诊脉仪,该柔性压力传感器的制备方法包括先制备具有若干孔洞的柔性隔离层,而后在柔性隔离层的两面贴合设置驻极体层,形成带有空腔的“三明治”式结构,再分别在驻极体层上背离柔性隔离层的表面设置电极层。通过以上方式,本发明柔性压力传感器的制备方法操作简单,成本低,所制得的柔性压力传感器灵敏度高,响应速度快。

来源网站：

中国工程科技知识中心

来源网址：

http://www.ckcest.cn/home/