金属化合物が化学的に固定されたコロイド粒子、その製造方法及びその使用

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专利权人:

バーサム マテリアルズ ユーエス，リミティド ライアビリティ カンパニー

发明人:

ホーンジュン ジョウ,シャオボー シー,ジョ−アン テリーサ シュワルツ

申请号：

JP20160058913

公开号：

JP6276315(B2)

申请日:

2016.03.23

申请国别(地区):

日本

年份:

2018

代理人:

摘要：

Metal compound chemically anchored colloidal particles wherein the metal compound is in molecular form are disclosed. A facile and fast process to chemically anchor metal compounds uniformly onto colloidal particle surfaces via chemical bonding has been developed. Metal compounds are chemically anchored to the surface of colloidal particles via an organic linking agent. Uniformly distributed metal compounds remain in molecular form after the process. The metal compound chemically anchored colloidal particles can be used as solid catalyst in metal chemical-mechanical planarization process.

来源网站：

中国工程科技知识中心

来源网址：

http://www.ckcest.cn/home/