一种电子皮肤及其制备方法和应用
- 专利权人:
- 肇庆市华师大光电产业研究院
- 发明人:
- 陆旭兵,杨成,郭敏
- 申请号：
- CN201811288217.1
- 公开号：
- CN109567984A
- 申请日:
- 2018.31.10
- 申请国别(地区):
- CN
- 年份:
- 2019
- 代理人:
- 摘要：
- 本发明公开了一种电子皮肤及其制备方法。电子皮肤包括云母衬底、覆盖在云母衬底上的50%Nb掺杂BaTiO3半导体薄膜层、覆盖在半导体薄膜层上的铂金电极,所述云母衬底的厚度为0.02~20μm,半导体薄膜层的厚度为5~200nm,金属电极的厚度为5~200nm。电子皮肤可以感知温度、应力、形变和光照,且具有可弯曲、重量轻、厚度薄、功耗低、应力感应高灵敏、耐低温和有机溶剂等优点,还具有很好的耐低温和耐弯曲疲劳特性。电子皮肤的制备工艺简单、成熟的镀膜工艺可以与半导体工艺兼容,能够实现光刻和离子刻蚀,从而能够使效率更高更方便实现器件的微型化和集成化,易于产业化推广。
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
